避免疏水二氧化硅层表面缺陷的方法

点击次数:   更新时间:21/10/25 14:23:10     来源:www.sddingxu.com 分    享:

       氧化层表面造成各种各样黑斑的关键缘故有下列几类,一种是硅片表面解决不干净,残余着一些拈污的残渣粒子,高温下沾附在疏水二氧化硅层的表面,产生部分小黑点,这类难题只需用心解决硅片就能清除。
  另一种是因为石英管长期性应用,处于高溫地区的石英管造成乳白色塑料薄膜,这类乳白色塑料薄膜的构造较为疏松,大气旋吹开或实际操作时振动就会导致粒子掉下去.落入硅片表面就会产生氧化层表面部分凸起。
  实际操作时一定坚决杜绝水珠喷到石英管中,特别是在在湿氧或水蒸气氧化时,当温度过高,发生爆发式烧开时,通常会将水滴立即喷到石英管中,如落入硅片上,就会发生五颜六色斑点。此外清理过的硅片上如残余水渍,也会在氧化影片上发生斑点。
  如在疏水二氧化硅表面存有黑斑时,黑斑处的氧化层对残渣的掩蔽功效很有可能无效,因而导致元器件特性下降,若有很大的突起黑斑时,还会继续导致光刻技术实际操作品质降低,危害全部芯管生产制造的良品率,因此在生产制造中应尽量减少发生黑斑。

  氧化层针孔的造成与氧化的方式相关,一般热氧化几乎不造成针孔。可是假如硅片的品质不太好,有比较严重的织构,而织构的地区又聚集较多的热扩散系数大的残渣,比如,铜、铁等,在这种地区就不可以非常好地生长发育出疏水二氧化硅层,因此产生氧化层针孔,这种针孔一般人眼不容易发觉,有时候也称埋孔,蔓延时它能使残渣部分透过,掩蔽无效,进而导致元器件走电扩大,抗压减少,乃至离断,或是导致铝电级与疏水二氧化硅层下的地区短路故障。为了更好地清除针孔,应挑选缺点少的光伏材料,而且表面光滑、整平。清理时要严苛实际操作,避免重金属超标残渣脏污硅片表面。

      

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